电子回旋共振离子源

摘要

本发明提供一种电子回旋共振离子源，用于产生离子束流，该电子回旋共振离子源包括永磁体装置、与所述永磁体装置的一端连接的注入装置及与所述永磁体装置另一端连接的引出装置，所述永磁体装置包括依次连接的注入磁环、六极磁环及引出磁环，所述注入磁环和所述引出磁环共同提供轴向约束磁场，所述六极磁环提供径向六极磁场。