实现在线控制模型工艺稳定性的滤波方法及系统

摘要

本发明提供一种实现在线控制模型工艺稳定性的滤波方法及系统，包括：设定带宽周期；采集在线控制模型随时间输出数据点；取不小于带宽周期的稳态数据点，获得其最大值和最小值，最大值和最小值之差为滤波带宽；采用滤波带宽对在线控制模型的每个数据点进行滤波，包括：在滤波带宽不变条件下，设定初始带宽最大值和初始带宽最小值为任一值；判断第一数据点是否在初始带宽最大值和初始带宽最小值范围内；在范围内，将第一数据点过滤为带宽目标值，带宽目标值为上述范围任一值；不在范围内，滤波带宽整体平移使得第一数据点在平移后滤波带宽对应的带宽最大值和带宽最小值范围内，将第一数据点过滤为平移后带宽目标值；重复上述步骤依次对数据点过滤。