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公开/公告号CN109786242A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 电子科技大学;
申请/专利号CN201910025421.2
发明设计人 熊杰;孙浩轩;晏超贻;杜新川;黄建文;邬春阳;戴丽萍;
申请日2019-01-11
分类号
代理机构电子科技大学专利中心;
代理人吴姗霖
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
入库时间 2024-02-19 11:09:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/322 申请日:20190111
实质审查的生效
2019-05-21
公开
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