用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置,和用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的方法

摘要

提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板(10)的装置(100)。所述装置(100)包括：检查组件(110)，所述检查组件经构造以检测第一基板上的第一线路图案(13)的第一尺寸；处理器件(120)，所述处理器件经构造以在所述第一线路图案(13)上方提供第二线路图案(14)，以形成组合的线路图案(12)，其中所述检查组件(110)进一步经构造以检测所述组合的线路图案(12)的第二尺寸；和对准器件(130)，所述对准器件经构造以基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来对准所述处理器件(120)和第二基板中的至少一个。