烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法

摘要

本发明公开了烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法，系统包括：脉冲激光器发出的光束照射到光束转折器的反射面上；半导体激光器发出的光束照射到二向色镜的第一受光面上；第一受光面平行于光束转折器的反射面；光束转折器将脉冲激光器发出的光束反射到二向色镜的第二受光面上；二向色镜将光束照射在移动平台上的待测样品表面；所述成像装置与微处理器连接，且正对于被光束转折器偏转的光束在待测样品表面形成的光斑设置；所述微处理器分别与所述成像装置、所述移动平台以及所述光谱仪分别电性连接。应用本发明实施例，可以提高检测结果的准确性。