利用共聚焦激光扫描显微系统测量介质表面粗糙度的方法

摘要

利用共聚焦激光扫描显微系统测量介质表面粗糙度的方法涉及精密加工与精确测量领域，该方法包括设计了共聚焦激光扫描显微系统，在探测器前设置可调针孔光阑；设计了扫描范围100微米控制精度可达10纳米的激光扫描器和物距与倾角都可调的载物台，选定405纳米波长激光器；设定光阑针孔为<1.0艾里单元的某值、选择扫描范围和扫描层厚度后进行扫描并存储数据；重建扫描图，在平面内选定一形貌曲线，给出形貌曲线的峰值粗糙度和总粗糙度的平均值；获得同一波导多个采样长度的峰值粗糙度和总粗糙度平均值；对多个波导多个采样长度的表面粗糙度测量获得峰值粗糙度和总粗糙度的平均值；该方法可用于大规模微纳型结构在生产中的无损在线快速检测。