公开/公告号CN109716497A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201780057399.9
申请日2017-09-13
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 10:46:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20170913
实质审查的生效
2019-05-03
公开
公开
机译: 加热器基座组件适用于各种温度控制
机译: 多功能加热片基座,用于宽范围晶圆温度控制
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