首页> 中国专利> 一种芯片级原子钟原子气室的MEMS制作方法

一种芯片级原子钟原子气室的MEMS制作方法

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明公开了一种芯片级原子钟原子气室的MEMS制作方法，通过化学反应腔体和原子气室腔体的分离，每一个原子气室腔体都有相对应的冷却小室的陶瓷冷却片的设计，可以使得生产出的每个原子气室碱性原子含量分布均匀且满足CPT共振需求，原子气室透光率大大提高，从而提升原子气室的成品率与CPT共振信号的强度。在本发明中对原子气室的退火工艺也使得刚刚生产出来的原子气室每小时的相对频率漂移从原来的10

著录项

公开/公告号CN109782572A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-21

原文格式PDF
申请/专利权人中国计量大学;
展开▼

申请/专利号CN201910116017.6
发明设计人严永强;金怀洲;金尚忠;徐睿;石岩;赵天琦;袁骁霖;周亚东;赵春柳;
展开▼

申请日2019-02-15
分类号
代理机构
代理人
地址 310018 浙江省杭州市江干区学源街258号中国计量大学
入库时间 2024-02-19 10:33:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-06-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G04F5/14 申请日:20190215

实质审查的生效
2019-05-21

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 一种芯片级原子钟原子气室的MEMS制作方法 [P] . 中国专利： CN109782572A . 2019-05-21
2. 一种芯片级原子钟气室及其制备方法 [P] . 中国专利： CN103885325A . 2014-06-25
3. Vapor cell comprising electro-optic function for chip-scale atomic clock, and method for manufacturing sealed container for chip-scale instrument [P] . 美国专利： US10447286B2 . 2019-10-15

机译：用于芯片级原子钟的具有电光功能的蒸气室以及用于芯片级仪器的密封容器的制造方法
4. Atomic clocks and magnetometers with vapor cells having condensation sites in fluid communication with a cavity to hold a vapor condensation away from an optical path [P] . 美国专利： US9429918B2 . 2016-08-30

机译：具有蒸气室的原子钟和磁力计，其蒸气室具有与腔体流体连通的凝结点，以使蒸气凝结远离光路
5. Device for enabling double passage of laser beam into gas cell of coherent-population-trapping atomic clock, has photodetector controlling optical frequency of laser beam and/or controlling temperature of gas cell [P] . 瑞士专利： CH703410A1 . 2012-01-13

机译：使激光能两次进入相干捕获原子钟的气室的装置，具有用于控制激光的光频率和/或控制气室温度的光电探测器