电化学传感器以及形成电化学传感器的方法

摘要

提供电化学传感器，其可以使用通常用于制造集成电路的微机械加工技术形成。这是通过在硅基板中形成微毛细管并在绝缘层中形成开口以允许环境气体到达基板的顶侧来实现的。多孔电极印刷在绝缘层的顶侧，使得电极形成在绝缘层的开口中。传感器还包括至少一个附加电极。然后在电极顶部形成电解质。在电极和电解质上方形成帽。使用微机械加工技术可以容易地产生这种布置。