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用于电子工业中的溶剂

摘要

适用于从显示器/半导体衬底或电子加工设备中尤其去除光刻胶和聚(酰胺酸)/聚酰亚胺的溶剂基本上由以下组成:(A)由二甲亚砜(DMSO)和N‑甲酰基吗啉中的至少一种组成的第一组分,以及(B)由以下中的至少一种组成的第二组分:N,N‑二甲基丙酰胺、3‑甲氧基‑N,N‑二甲基丙酰胺、N,N‑二甲基乙酰乙酰胺和N‑甲基‑ε‑己内酰胺。

著录项

  • 公开/公告号CN109690415A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 陶氏环球技术有限责任公司;

    申请/专利号CN201680089183.6

  • 发明设计人 蒋奇;任华;姜鑫;金應圭;

    申请日2016-09-28

  • 分类号

  • 代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐舒

  • 地址 美国密歇根州

  • 入库时间 2024-02-19 10:15:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/42 申请日:20160928

    实质审查的生效

  • 2019-04-26

    公开

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