一种多轴联动精密机床二维动态定位精度测量方法

摘要

本发明公开了一种多轴联动精密机床二维动态定位精度测量方法，激光器模块发出的激光束经过分光后分成两路，其中一路进入X轴干涉计量模块，另外一路进入Z轴干涉计量模块；X轴干涉计量模块和Z轴干涉计量模块分别位于高精度标准块相互垂直的两个方向，分别用于测量X方向和Z方向的动态位移；信号采集和处理模块用于对两个方向的信号进行同步分析，得到机床的二维动态定位精度特性。该方法基于高精度标准件与激光干涉仪，不仅能够实现多轴联动精密机床二维动态定位精度高精度测量，实现其多轴联动动态定位精度特性的表征，而且高度集成化，操作简单，具有较高的测量效率。