基于维纳模型辨识方法的扩散炉在线诊断方法

摘要

本发明公开了一种基于维纳模型辨识方法的扩散炉在线诊断方法，该方法的实现步骤如下：（1）在设备初始状态下采集扩散炉加热系统中的电力输入，冷却水流量及温度输出数据进行系统辨识，建立设备初始的维纳模型，存入数据库；（2）在设备后续使用中，采集扩散炉加热系统中的电力输入，冷却水流量及温度输出数据；（3）利用采集到的输入输出数据实时建立维纳模型；（4）将实时建立的维纳模型中的各项参数与初始模型进行比较，超过阀值即可发出报警。本发明能在线诊断，不需要追加硬件，在设备发生故障前发出预警，提示设备维护；后台分析不影响设备的正常使用，提高了生产效率；软件可以安装在外部监控电脑或写入单片机与设备一体化。