一种仿生微纳结构多孔硅超疏水表面的制备方法

摘要

本发明公开了一种仿生微纳结构多孔硅超疏水表面的制备方法。本发明首先采用电化学刻蚀法在单晶硅表面制备多孔硅仿生微纳结构表面，然后通过有机分子修饰获得仿生微纳结构超疏水多孔硅表面。本发明成本较低，工艺简单、制备时间较短，对于硅基仿生微纳结构表面在生物芯片和微流体器件等方面都有应用前景。