基于掺杂硅光栅阵列的偏振无关宽带吸收器

摘要

本发明公开了一种基于掺杂硅光栅阵列的偏振无关宽带吸收器，包括由掺杂硅组成的衬底层，所述衬底层上设有掺杂硅光栅阵列，所述掺杂硅光栅阵列由N×N个正方形的周期单元组成；所述相邻周期单元之间的间隙和周期单元的上表面均设有电介质减反射层。本发明可以吸收太赫兹波段中一个较宽频率范围内的入射光，偏振无关吸收率超过95%的带宽超过3THz，并且在很大的入射角范围内可以维持很高的偏振无关吸收，具有很好的带宽和角度无关性；此外本发明只需通过一次光刻，加上一次镀膜，便可成型，制作方法简单方便，成本低廉，适于大批量生产。