一种具有破片检知的加工腔室和破片检知方法

摘要

本发明提供了一种具有破片检知的加工腔室和破片检知方法，以解决现有技术工艺制程中缺乏有效的基板完整性检测手段的问题。其结构包括用于承载基板的承载平面，还包括：多极电磁场，用于在所述承载平面所处空间中形成覆盖所述承载平面的电磁环境；电磁信号传感器阵列，用于采集所述电磁环境中的电磁信号分布状态；电磁信号检测装置，用于根据所述电磁信号分布状态获取同一固定位置的差异电磁信号并根据差异电磁信号确定基板中缺陷的位置坐标。形成无接触缺陷检测的同时，可以适应多种工艺制程过程中的物理参数变化，信号量化实时客观，状态检测数据可以作为工艺制程改进分析的数据基础，避免了直观检测手段在位置、时机和重复性上的缺陷。