晶圆间键合结构的形成方法、晶圆的键合方法

摘要

一种晶圆间键合结构的形成方法以及晶圆的键合方法，其中晶圆间键合结构的形成方法，包括：提供基底；在所述基底上形成停止层，所述停止层中形成有通孔，所述停止层与金属层材料层的研磨比大于氮化硅与金属层材料层的研磨比；在所述停止层上形成金属材料层，所述金属材料层填充满所述通孔；平坦化所述金属材料层直至停止层，在通孔中形成键合金属层，所述键合金属层和两侧的停止层构成键合结构。本发明的方法防止了键合金属层表面凹陷缺陷的产生，提高了键合的强度。