一种侧装结构及其安装方法及接地环侧装的刻蚀装置

摘要

一种侧装结构，用于固定连接存在接触面的第一结构件和第二结构件，所述侧装结构包含：特制螺栓，螺头中间细两端粗，中间较细的部分构成定位部，安装完成后所述螺头设置于所述第一结构件的容纳室中；第一楔形块，沿其宽度方向设有第一卡槽；第二楔形块，沿其长度方向设有第二卡槽，安装完成后所述第一卡槽和所述第二卡槽同时卡设于所述定位部，夹持及固定所述特制螺栓；推杆，推紧以及固定所述第二楔形块。本发明还提供了一种使用所述侧装结构固定连接两个结构件的安装方法。本发明的优点是减少额外故障的发生概率，提高过程质量控制，减少更换接地环的工作量，提高工作效率。

说明书

技术领域

本发明涉及微电子领域，具体涉及一种侧装结构及其安装方法及接地环侧装的刻蚀装置。

背景技术

接地环的底面在等离子刻蚀过程中会直接和等离子体接触，因此，接地环的底面需要有很好的抗等离子体腐蚀的能力。为此，在安装接地环的过程中要对接地环的底面进行保护，不能出现机械损伤。目前的安装方法是增加一个额外的安装基板，将接地环先安装在安装基板上，再将基板安装到安装基座上，最后才能安装另一个必须的零件，喷淋头。由此带来一些不必要的新问题，比如螺丝松动、脱落或接地不良导致的异常问题。并且，在拆卸接地环的时候必须先拆卸其他零件，增大更换接地环的工作量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种侧装结构及其安装方法及接地环侧装的刻蚀装置，简化安装和拆卸接地环的过程，避免增加额外的零件。

一种侧装结构，用于固定连接存在接触面的第一结构件和第二结构件，所述第一结构件具有一容纳室，该容纳室贯通第一结构件的侧面及第一结构件与所述第二结构件的接触面，所述第二结构件在与第一结构件的接触面上设有一螺纹孔，所述侧装结构包含：

特制螺栓，固定于所述螺纹孔中，所述特制螺栓的螺头中间细两端粗，中间较细的部分构成定位部，安装完成后所述螺头设置于所述第一结构件的容纳室中；

第一楔形块，设置于所述第一结构件的容纳室中，沿其宽度方向设有第一卡槽，槽宽与所述特制螺栓的定位部匹配；

第二楔形块，设置于所述第一结构件的容纳室中，沿其长度方向设有第二卡槽，槽宽与所述特制螺栓的定位部匹配，安装完成后所述第一卡槽和所述第二卡槽同时卡设于所述定位部，夹持及固定所述特制螺栓；

推杆，设置于所述第一结构件的容纳室中，向所述第一结构件内部推紧以及固定所述第二楔形块。

上述的一种侧装结构中，所述第一楔形块、特制螺栓、第二楔形块和推杆由内向外依次排列在所述容纳室中。

上述的一种侧装结构，其中：

所述容纳室在第一结构件侧面的开口与所述推杆外形相匹配，供推杆进入；

所述容纳室在第一结构件与第二结构件接触面的第二开口宽度与所述特制螺栓的螺头直径相匹配，供所述特制螺栓在其中移动。

上述的一种侧装结构，其中：

当第一结构件与第二结构件以相对平移的方式安装时，所述第二开口为长条形槽；

当第一结构件与第二结构件以相对旋转的方式安装时，所述第二开口为弧形槽，所述弧形槽的圆心为安装时的旋转中心。

上述的一种侧装结构中，所述容纳室内壁设有螺纹或不设螺纹。

上述的一种侧装结构中，所述特制螺栓的螺头部分纵向截面呈工字形，其中间部分即为所述定位部，供所述第一楔形块和第二楔形块从不同方向夹持和固定，工字形两头突出的平面限位所述第一楔形块和第二楔形块。

上述的一种侧装结构中，所述特制螺栓的螺头部分纵向截面呈哑铃形，其中间较细部分即为所述定位部，供所述第一楔形块和第二楔形块从不同方向夹持和固定，哑铃形两头粗大的部分限位所述第一楔形块和第二楔形块。

上述的一种侧装结构中，所述的推杆套接在第二楔形块尾部或直接顶住第二楔形块尾部。

上述的一种侧装结构中，所述第一楔形块和第二楔形块的楔形角度范围为0°~45°。

上述的一种侧装结构中，所述第一楔形块和第二楔形块的楔形角度相同。

一种侧装结构安装方法，采用上述的侧装结构，该安装方法包含以下步骤：

S1、将所述特制螺栓固定于所述第二结构件上；

S2、将所述第一楔形块由所述第一结构件的侧面推入容纳室底部；

S3、将固定于所述第二结构件上的特制螺栓的螺头伸入容纳室的第二开口中，调整固定有特制螺栓的第二结构件和所述第一楔形块，使特制螺栓的螺头上的定位部卡入所述第一楔形块的第一卡槽中，令所述第一卡槽夹住特制螺栓的定位部；

S4、将所述第二楔形块和推杆依次从所述第一结构件的侧面推入容纳室中，令所述第二楔形块的第二卡槽与所述第一卡槽从不同方向夹住特制螺栓的定位部。

上述的侧装结构安装方法中，步骤S4之后还包含：

S5、以外力推紧推杆令其固定于容纳室中，或利用螺纹将推杆固定于容纳室中，同时令所述第一楔形块与第二楔形块紧密契合，从而固定连接所述第一结构件和第二结构件。

一种接地环侧装的刻蚀装置，包括安装基座和接地环，安装基座位于接地环上方，所述安装基座具有一容纳室，该容纳室贯通所述安装基座的侧面及安装基座与接地环的接触面，所述接地环在与安装基座的接触面上设有一螺纹孔，所述安装基座和接地环通过如权利要求1~9中任意一项所述的侧装结构固定连接。

上所述的一种接地环侧装的刻蚀装置中，接地环和安装基座由1~8个所述的侧装结构固定连接。

上所述的一种接地环侧装的刻蚀装置中，所述的接地环使用硅导电材料，具有良导电性。

本发明的优点和有益效果是：

（1）减少额外故障的发生概率，提高过程质量控制效果。

（2）减少更换接地环的工作量，提高工作效率。

附图说明

图1是本发明中一种侧装结构的剖面图。

图2是本发明中一种接地环侧装的刻蚀装置的示意图。

图3是本发明中一种接地环侧装的刻蚀装置中接地环侧装部分的剖面示意图。

图4是本发明中第一楔形块的正视图。

图5是本发明中第一楔形块的侧视图。

图6是本发明中第二楔形块的正视图。

图7是本发明中第二楔形块的侧视图。

图8是本发明中第二楔形块与推杆连接的一个实施例。

图9是实施例中容纳室的剖面图。

图10是实施例中容纳室的侧面开口示意图。

图11是实施例中容纳室的第二开口示意图。

具体实施方式

以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。

本发明公开了一种侧装结构，可用于固定连接存在接触面的第一结构件和第二结构件，所述第一结构件具有一容纳室，该容纳室贯通第一结构件的侧面及第一结构件与所述第二结构件的接触面，所述第二结构件在与第一结构件的接触面上设有一螺纹孔，所述侧装结构包含第一楔形块1、特制螺栓2、第二楔形块3和推杆4。

特制螺栓2，固定于所述螺纹孔中，螺头突出于所述第一结构件的表面。所述特制螺栓2的螺头中间细两端粗，中间较细的部分构成定位部，第一结构件与第二结构件固定连接后所述螺头位于所述第一结构件的容纳室中。

进一步地，所述特制螺栓2的螺头部分纵向截面呈工字形，其中间部分即为所述定位部，供所述第一楔形块1和第二楔形块3从不同方向夹持和固定，工字形两头突出的平面限位所述第一楔形块1和第二楔形块2。

进一步地，所述特制螺栓2的螺头部分纵向截面还可以呈哑铃形，其中间部分即为所述定位部，供所述第一楔形块1和第二楔形块3从不同方向夹持和固定，哑铃形两头粗大的部分限位所述第一楔形块1和第二楔形块2。

如图4、图5所示，第一楔形块1设置于所述第一结构件的容纳室中，沿其宽度方向设有第一卡槽11，槽宽与所述特制螺栓2的定位部匹配。

如图6、图7所示，第二楔形块3设置于所述第一结构件的容纳室中，沿其长度方向设有第二卡槽31，槽宽与所述特制螺栓2的定位部匹配。

安装完成后所述第一卡槽11和所述第二卡槽31同时卡设于所述特制螺栓2的定位部，夹持及固定所述特制螺栓2。值得一提的是，为了固定所述特制螺栓2，第一卡槽11和第二卡槽31必然相交，且两者共同构成360°的包围，以保证特制螺栓2不会脱出所述第一卡槽11和第二卡槽31的限定范围。

推杆4设置于所述第一结构件的容纳室中，向所述第一结构件内部推紧以及固定所述第二楔形块3。令第二楔形块3与第一楔形块1相互契合并互相交错咬紧特制螺栓2的定位部，从而达到固定特制螺栓2的效果。

推杆4与容纳室有两种配合及安装方式。

第一种，容纳室内壁不设置螺纹，推杆4一端直径小于所述容纳室侧壁的开口，另一端直径大于所述容纳室侧壁的开口。安装时采用“敲钉子”的方式，将推杆4推入容纳室中固定。这一固定方式不便于拆卸，不适合需要重复拆装的使用环境。

第二种配合方式为，容纳室内壁设置螺纹，推杆4外表面也相应设置螺纹和一字或十字槽。安装时采用“拧螺丝”的方式，将推杆4推入容纳室中固定。这一固定方式灵活简便，并且可以反复拆装。

推杆4与第二楔形块3也有两种配合及安装方式。

第一种，推杆4一端为平面。安装时第二楔形块3与推杆4分别依次塞入容纳室。推杆4的平面端与第二楔形块3的尾部相抵，推动推杆4时，由于力的传递，同时也推动第二楔形块3向容纳室深处运动。

第二种配合方式为，推杆4一端设置有卡槽，第二楔形块3的尾部设置有卡扣。第二楔形块3的卡扣和推杆4的卡槽按图8所示进行预装。预装后第二楔形块3和推杆4活动连接，两者之间还可以进行相对旋转。将预装后的第二楔形块3和推杆4塞入容纳室，紧固推杆4，从而最终固定特制螺钉2。由于卡槽的存在，第二种配合方式限定了第二楔形块3只能在轴向运动。

进一步地，所述第一楔形块1、特制螺栓2、第二楔形块3和推杆4由内向外依次排列在所述容纳室中。

所述容纳室在第一结构件侧面的开口与所述推杆4外形相匹配，供推杆进入；所述容纳室在第一结构件与第二结构件接触面的第二开口宽度与所述特制螺栓2的螺头直径相匹配，供所述特制螺栓2在其中移动和紧固。

进一步地，若第一结构件与第二结构件以相对平移的方式安装，则所述第二开口为长条形槽；若第一结构件与第二结构件以相对旋转的方式安装，则所述第二开口为弧形槽，所述弧形槽的圆心为安装时的旋转中心。

进一步地，所述容纳室内壁设有螺纹或不设螺纹。

进一步地，所述第一楔形块1和第二楔形块3的楔形角度范围为0°~45°。

进一步地，所述第一楔形块1和第二楔形块3的楔形角度相同。即，两种楔形块的斜面的倾斜度相同。

本发明还公开了一种侧装结构安装方法，采用上述的侧装结构，该安装方法包含以下步骤：

S1、将所述特制螺栓2固定于所述第二结构件上；

S2、将所述第一楔形块1由所述第一结构件的侧面推入容纳室底部；

S3、将固定于所述第二结构件上的特制螺栓2的螺头伸入容纳室的第二开口中，调整固定有特制螺栓2的第二结构件和所述第一楔形块1，使特制螺栓2的螺头上的定位部卡入所述第一楔形块1的第一卡槽11中，令所述第一卡槽11夹住特制螺栓2的定位部；

S4、将所述第二楔形块3和推杆4依次从所述第一结构件的侧面推入容纳室中，令所述第二楔形块3的第二卡槽与所述第一卡槽11从不同方向夹住特制螺栓2的定位部。

进一步地，步骤S4之后还包含：

S5、以外力推紧推杆4令其固定于容纳室中，或利用螺纹将推杆4固定于容纳室中，同时令所述第一楔形块1与第二楔形块3紧密契合，从而固定连接所述第一结构件和第二结构件。

实施例

本发明还公开了一种接地环侧装的刻蚀装置。图2所示为一种接地环侧装的刻蚀装置的整体示意图，包括安装基座5和接地环6，安装基座5位于接地环6上方。图3为安装基座5和接地环6的连接示意图。图1为图3中一个侧装结构的剖面图。

本实施例中，安装基座5和接地环6即为权利要求1中所述的第一结构件和第二结构件。所述安装基座5具有一容纳室7，该容纳室7贯通所述安装基座5的侧面及安装基座5与接地环6的接触面，所述接地环6在与安装基座5的接触面上设有一螺纹孔，所述安装基座5和接地环6通过侧装结构固定连接。为了安装稳固，本实施例沿圆周均匀分布6个侧装结构固定安装基座5和接地环6。

图1中件2所示为本实施例中的特制螺栓2，其螺头部位的竖切面为工字形。工字形比哑铃形具有更明晰的定位部和更平整的的接触面，有利于楔形块夹持和定位。

图1中件3为本实施例中的第二楔形块3，件4所示为本实施例中的推杆4。所述第二楔形块3尾部设有卡扣，所述推杆4设有卡槽，所述卡扣嵌入所述卡槽中活动连接第二楔形块3和推杆4，第二楔形块3和推杆4能相对旋转。所述的推杆4为一螺纹推杆，并与安装基座5中容纳室7对应位置的内壁面螺纹连接，螺纹推杆由安装基座5侧面伸入容纳室7中，在螺纹导向作用下使螺纹推杆推动第二楔形块3以使第二楔形块3的第二卡槽夹住特制螺栓2。第二楔形块3和推杆4按图8预装后一起推入容纳室7中。推杆4上与卡槽相对的一端设有一字槽，与螺丝刀配合紧固使用。

紧固后，第一楔形块1和第二楔形块3相互交错，水平位置由推杆4固定，竖直位置由相互交错的第一楔形块1和第二楔形块3产生的作用力固定。

容纳室7根据侧装结构的安装需要进行设计，本实施例中安装基座5和接地环6均为圆形/环形外观，安装时采用相对旋转的方式，因此容纳室7在安装基座5上的第二开口为弧形槽。容纳室7的剖面图、侧面开口和第二开口分别如图9~11所示。图9中，容纳室7由内向外依次容纳第一楔形块1,、特制螺栓2、第二楔形块3和推杆4，容纳室7各段的直径与其容纳的零件相适应，与推杆4对应处还设有螺纹。图10为图9中的A向视图，亦即前文所述的侧面开口，供第一楔形块1,、第二楔形块3和推杆4先后推入。图11为图9中的B向视图，即第二开口，供特制螺栓2插入和移动。

进一步地，所述的接地环6使用硅导电材料，具有良导电性。

尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。