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一种石墨烯六角氮化硼（h-BN）复合薄膜的制备方法及其装置

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摘要

本发明涉及一种石墨烯六角氮化硼（h‑BN）复合薄膜的制备方法及其装置，所述装置包括主腔室、进样室、加热装置、传样杆、供气装置、样品托、插板阀及抽气装置。其中主腔室用于薄膜材料的制备，进样室用于制备衬底的准备。本发明采用不锈钢腔壁，使用分子泵+机械泵的抽气装置，本底真空可达到10

1. 一种石墨烯六角氮化硼（h-BN）复合薄膜的制备方法及其装置 [P] . 中国专利： CN109763114A . 2019-05-17
2. 一种制备石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化学气相沉积装置 [P] . 中国专利： CN107099782A . 2017-08-29
3. / / HEXAGONAL BORON NITRIDE NANOSHEET/CERAMIC NANOCOMPOSITE POWDERS AND PRODUCING METHOD OF THE SAME AND HEXAGONAL BORON NITRIDE NANOSHEET/CERAMIC NANOCOMPOSITE MATERIALS AND PRODUCING METHOD OF THE SAME [P] . 韩国专利： KR101634160B1 . 2016-06-28

机译： / /六角氮化硼纳米陶瓷/陶瓷纳米复合材料及其制备方法和六角氮化硼纳米陶瓷/陶瓷纳米复合材料及其制备方法
4. METHOD FOR MANUFACTURING HETEROJUNCTION STRUCTURE OF HEXSGONAL BORON NITRIDE AND GRAPHENE AND THIN FILM TRANSISTOR USING SAME [P] . 韩国专利： KR20170056388A . 2017-05-23

机译：用相同的方法制造六角氮化硼和石墨烯和薄膜晶体管的异晶结构的方法。
5. PREPARATION METHOD FOR FULLERENE-LIKE CARBON LAYER/GRAPHENE-LIKE BORON NITRIDE MULTI-LAYER COMPOSITE SUPER-LUBRICATIVE THIN FILM [P] . 世界知识产权组织专利： WO2019119647A1 . 2019-06-27

机译：富勒烯碳层/石墨烯氮化硼多层复合超润滑薄膜的制备方法