一种适用于量子芯片的小型快速升降温退火装置

摘要

本发明公开了一种适用于量子芯片的快速升降温退火装置及其应用，涉及电极材料处理装置领域，包括真空室，所述真空室外依次套接有散热装置、加热套，所述散热装置包括安装套，所述安装套外均布设置有若干散热片，所述散热片远离安装套的一端与所述加热套接触设置，两个所述相邻的散热片之间设置有散热孔道。该装置可利用同一装置实现快速升温和降温的过程，该装置结构简单、体积小，可满足高温和低温的使用需求且能耗低。