渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置

摘要

本发明公开了一种渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置。包含具有拍频信号输出的双频激光器和直线度及位移同时测量单元，其中半透射半反射平面镜和渥拉斯顿棱镜组成测量镜，该测量镜移动时，产生含有不同多普勒频差的三路测量光束，经三个光电探测器接收输出三路测量信号，与双频激光器输出的参考信号一起经信号处理板和计算机处理后，得到被测对象的直线度误差及位移。本发明通过半透射半反射平面镜和渥拉斯顿棱镜的组合，在一套激光干涉装置中实现了直线度及位移的同时测量，同时利用渥拉斯顿棱镜作为测量镜对转角误差不敏感的特点，降低了被测对象转角误差对直线度误差测量结果的影响，提高了直线度误差测量精度和稳定性。