探针测试装置以及探针测试装置的工作方法

摘要

一种探针测试装置以及探针测试装置的工作方法，探针测试装置包括：基台，用于放置待测衬底，所述待测衬底表面具有测试衬垫；探针，用于接触所述测试衬垫以进行测试；温度传感器，用于获取进行测试时的所述探针的温度；数据处理单元，用于通过所述探针的温度获取探针调整信息；微调装置，用于根据所述调整信息移动所述探针。所述探针测试装置自动测量探针的温度，调节探针的位置，减小了测量过程中的误差提高了测试的准确性。