硅化合物材料的制造方法和硅化合物材料制造装置

摘要

硅化合物材料的制造方法包含如下工序：将碳化硅的预制体容纳于反应炉中的工序；向反应炉供给包含甲基三氯硅烷的原料气体，使碳化硅含浸于预制体中的工序；以及以预定速度控制从反应炉排出的气体的温度并使其下降，对气体施加连续的热历程，从而减少源自气体的、液体或固体副产物的产生的工序。