等离子体产生装置及等离子体照射方法

摘要

本发明的大气压等离子体产生装置(10)具有散热器(27、28)。在散热器中形成有流路，通过使冷却气体在该流路中流动而对形成有反应室的下部壳体(20)进行冷却。此时，被用于冷却的气体因下部壳体的热量而被加温。该加温后的气体被向加热气体供给装置(14)供给，并被加热器(112)加热。并且，加热后的气体流向下部罩(22)，并与等离子气体一起从下部罩(22)向被处理体喷出。由此，能够进行因放电而被加热了的下部壳体的冷却及被处理体的加热，并且能够减少气体的加热所需的能量。