一种等离子体射流阵列非均匀等离子体产生装置

摘要

本发明公开了一种等离子体射流阵列非均匀等离子体产生装置，其包括射流装置，射流装置包括气体导管，气体导管前侧设置有石英管，石英管内布置有高压电极，高压电极与电源装置连接；石英管的前侧设置有诊断装置，诊断装置包括探针，探针的后部分别与探针控制装置和测量传感器连接；气体导管与气体装置连接，气体装置、电源装置、诊断装置分别与控制装置连接，控制装置包括控制器。本发明能够解决现有技术中生成的等离子体电子密度以及分布难以控制的问题，结构简单、效率高、可靠性强。