基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置

摘要

基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明可以在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用螺旋相位板在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对零差干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对零差干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。