一种基于半监督学习的晶圆图批量分析方法

摘要

本发明公开了一种基于半监督学习的晶圆图批量分析方法，该方法包括以下步骤：对晶圆图进行预处理；对预处理后的晶圆图进行筛选；使用有标签及无标签晶圆图训练半监督模型；筛选无标签晶圆图优化半监督模型；进行晶圆图分析。本发明能够利用少量有标签晶圆图建立稳定高效的半监督模型，能在实际生产中准确地完成晶圆图分析。