法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-02
著录事项变更 IPC(主分类):H01J49/40 变更前: 变更后: 申请日:20180911
著录事项变更
2019-02-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J49/40 申请日:20180911
实质审查的生效
2019-01-18
公开
公开
机译: 大分子例如诸如生物聚合物之类的分析物离子,破碎方法,涉及与中性粒子的激发或自由基流发生反应而使分析物离子破碎,并用中性粒子照射分析物离子
机译: 控制和检查由具有活性离子,自由基和/或中性粒子的等离子体所进行的蚀刻工艺的方法,该等离子体特别用于非常高集成度的半导体电路
机译: 控制和检查由具有活性离子,自由基和/或中性粒子的等离子体所进行的蚀刻工艺的方法,该等离子体特别用于非常高集成度的半导体电路