法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01S3/14 申请日:20181229
实质审查的生效
2019-04-09
公开
公开
机译: 法布里-珀罗-干涉仪-单元,一种用于操作法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法以及一种制造法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法
机译: 短基线干涉仪用于相关性测向
机译: 在微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置中制造中间组分的方法,制造微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置的方法,以及微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置