大孔径合束镜的模系均匀性修正方法及装置

摘要

本发明关于一种大孔径合束镜的模系均匀性修正方法及装置，其中方法包括以下步骤：沿镀膜基盘片径向取N个点，测量镀膜厚度，取膜厚最大处为dmax，最薄处为dmin，对应的镀膜基盘片径向半径为rmax,rmin；膜厚最大的径向位置对应的修正板最宽处，测量该最宽处的中心角为θmax，计算膜厚沿径向分布的权重因子；修正板最宽处作为原点进行均匀性修正板轮廓迭代求解，计算初始修正板的轮廓；利用计算后的初始修正板进行镀膜修正，再次测量膜厚；计算新的修正系数；计算新的修正版轮廓因子；判断镀膜厚度均匀性是否满足要求，如果不满足要求，则重复上述步骤，直到满足均匀性要求，得到最终修正板轮廓。本发明简化了修正方法，可以快速得到合适的修正板轮廓。