一种具有单调和线性输出特性的SAW温度传感器及其设计方法

摘要

一种具有单调和线性输出特性的SAW温度传感器及其设计方法，属于声表面波传感器技术领域。本发明通过在同一压电基片上设计两个除平行外位置任意的SAW谐振器并进行连接作为SAW温度传感器使用，在设计两个SAW谐振器的结构参数使得二者谐振频率满足TCF21f01＝TCF22f02，进而设计得到一种具有单调线性输出特性的SAW温度传感器。本发明提供的SAW温度传感器在测试时只需两个标定参数，并且其输出随温度变化呈现单调线性变化。相比传统SAW温度传感器，在实现全范围测温的同时明显简化了测试的标定过程，降低了计算复杂度。