公开/公告号CN109143222A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201810841616.X
申请日2018-07-27
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李坤
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2024-02-19 07:49:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G01S13/72 申请日:20180727
实质审查的生效
2019-01-04
公开
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