一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法

摘要

本发明公开了一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法，包括ICP火焰燃烧室、光信号采集系统、光电转换系统、状态判断系统、RF电源控制系统、RF频电源、匹配负载和上位机人机界面，所述光信号采集系统采集ICP火焰燃烧室内的火焰，该光信号采集系统输出端连接有光电转换系统，光电转换系统将信号传输出到状态判断系统，状态判断系统输出端连接有RF电源控制系统，该RF电源控制系统将状态信号传送至上位机人机界面，上位机人机界面输出端连接RF电源控制系统将控制信号传送至RF电源控制系统，RF电源控制系统将RF电源控制信号传输至RF射频电源，RF射频电源匹配负载，本装置用于ICP火焰的监测，将监测的反馈信号做高低电平信号反馈给主控系统，作为火焰有无的判断信号，且设计成本低，监测控制准确，安全性高。