一种新型正八边环形谐振式微机械陀螺

摘要

本发明公开了一种正八边环形谐振式微机械陀螺结构，属于微传感器领域。本发明提出的正八边环形谐振式微机械陀螺结构，完全保留了环形谐振陀螺的优点，并解决了圆环陀螺谐振频率较高，且在椭圆工作模态主阻尼方向与驱动和敏感轴之间偏差角度较大的问题，同时增大了检测电容量，有利于灵敏度的提升。依次包括基底硅体、电绝缘层和器件层；其特征在于：所述器件层包括正八边形环形结构、辐条、中心支撑、电极；器件层通过中心支撑悬置于基底硅体上。