一种通过毛细管内部金属液滴位置变化测量微通道内部压力装置

摘要

本发明公开了一种基于毛细管的微通道快速测压装置，其中PDMS微芯片的下壁面利用软光刻法加工了一个主通道和测压支路，测压支路的一端开口在主通道内需要测量压力的位置，另一端(后端)与毛细管相接，毛细管一端密闭，另一端在加入金属微滴稼镁铟后插入测压支路后端，两者通过玻璃胶密封，玻璃基底的上壁面通过等离子处理后与PDMS微芯片的下壁面相黏合。本发明微通道的结构可以自行设计，金属微滴可重复利用，满足不同的测量压力范围，简单有效。