等离子体限制器、真空室及等离子体装置

摘要

本发明公开了一种等离子体限制器、应用该等离子体限制器的真空室及由该真空室所组成的等离子体装置，等离子体限制器包括热沉体，内部沿高度方向上开设有冷却水道，端部设有进出水道口，进出水道口上安装有热沉水嘴，热沉体外设有热沉屏蔽组件；真空室包括等离子体限制器、水冷导轨以及用于调整等离子体限制器在水冷导轨上安装位置调整组件；等离子体装置由真空室串联而成，在真空室的端口法兰上设有为等离子体限制器的位置调整提供基准的激光测量用靶标座。本发明能承能实现限制器的稳定运行，可实现限制器沿真空室轴向移动，便于保证真空室串联后多个限制器同心度，为高品质等离子体产生提供基础，同时具有便于拆装的优势。