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公开/公告号CN109121275B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-23
原文格式PDF
申请/专利权人 合肥聚能电物理高技术开发有限公司;
申请/专利号CN201811194090.7
发明设计人 李波;周海山;周卫云;彭元凯;史磊;
申请日2018-10-15
分类号H05H1/02(20060101);
代理机构34126 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李慧
地址 230031 安徽省合肥市中科院等离子所研制中心204室
入库时间 2022-08-23 11:36:32
机译: 感应耦合微波等离子体池薄膜系统,在中空室的末端形成真空室,其中预设值的压力位于真空室的侧面,使得等离子体从中空室延伸到真空室
机译: 在具有固态靶的真空室中产生脉冲等离子体的装置具有至少一个碎屑挡块,该碎片挡块围绕光学元件或基板与真空室中的等离子体之间的轴旋转
机译: 等离子体CVD涂层是通过以下步骤形成的:将要涂层的组件放在真空室中,排空真空室,供应工艺气体,并产生等离子体
机译:真空室硼化后,由L-2M恒星发生器的软X射线光谱和等离子体电导率确定等离子体有效电荷
机译:用于直接梁控制和真空室内对准的Conflat虹膜膜片装置
机译:集成深层冷冻装置的真空室炉
机译:模拟真空室中太阳风等离子体的离子源的开发与表征
机译:ZAP-HD装置的诊断开发和等离子体材料相互作用研究
机译:用Alyx洗手筛收集装置迅速建立医院康复等离子体收集中心
机译:利用低成本真空室中朗米尔探针研究煤弧等离子体等离子体参数的实验组
机译:具有用于插入装置的真空室的高级光子源体验