一种基于Plasma羟基化提升涂层抗弛豫性能的碱金属气室制作方法

摘要

本发明涉及一种基于Plasma羟基化提升涂层抗弛豫性能的碱金属气室制作方法。该方法采用等离子体清洗机对气室内面进行羟基化，由于碱金属气室尾管较细，省去了传统的羟基化方法清洗后需要将粘稠的清洗溶液采用毛细玻璃管抽出的操作，避免抽出清洗溶液过程中戳破气室，改善目前气室制作过程中耗时，耗力，一致性和抗弛豫效果不理想的问题，同时，可使得玻璃表面具有更多的羟基，无需移除清洗溶液以及后续烘干，缩短了羟基与外界的接触时间，减小羟基污染，可维持较多的羟基数量，在与有机氯硅烷反应的过程中，实现更为平整均匀的覆盖面，增大对顺磁杂质的表面覆盖率，增强涂层的抗弛豫性能。此外，可同时处理多个气室，增强涂层制作的一致性和可重复性。