设备元件维护分析系统以及设备元件维护分析方法

摘要

本发明的目的在于提供能适当地分析是否需要维护设备元件的设备元件维护分析系统和设备元件维护分析方法。设备元件维护分析系统具备：历史信息获取部，在给定的定时获取安装有至少一个设备元件的制造设备的运行历史信息；错误率计算部，基于与运行历史信息中包含的设备元件相关的错误次数计算错误率；维护判定部，判定是否需要维护设备元件；和报知部，对判定为需要维护的设备元件进行报知。错误率计算部计算获取到的运行历史信息中的最新给定期间中的错误率，维护判定部将错误次数多的设备元件中的最新错误率为给定值以上的设备元件判定为需要维护，报知部对错误次数多的设备元件的信息进行排序并将错误次数和维护是必要的意思包含在内进行报知。