法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01T1/29 申请日:20180814
实质审查的生效
2019-01-15
公开
公开
机译: 用于根据红外探测器的温度来校正不均匀性的热成像相机以及用于在同一位置中校正不均匀性的方法
机译: 具有基于空间能量特征数据的非均匀性校正的打印头,用于打印头的非均匀性校正的方法以及用于测量打印头中的空间能量特征数据的装置
机译: 补偿由均匀性补偿器漂移ETC引起的均匀性漂移的光刻设备。通过包括均匀性校正系统,设备的制造方法和均匀性校正系统