一种快速获取真空的电子直线加速器

摘要

本发明涉及一种快速获取真空的电子直线加速器，包括加速管(1)，所述的加速管(1)一端设有一个用于连接真空泵的第一真空泵接口，另一端通过泵连接管(3)连接靶端离子泵(2)，所述的泵连接管(3)上还设有一个用于连接另一个真空泵的第二真空泵接口，所述的电子直线加速器还设有真空自动控制模块，所述的真空自动控制模块分别连接两个真空泵。与现有技术相比，本发明能够快速获取真空，结构简单，易于实现。