中波红外光学硬质保护膜的制备方法

摘要

本发明公开了中波红外光学硬质保护膜的制备方法。该方法包括基片清洗、过渡层的制备、光学匹配层的制备、保护层的制备、真空退火处理等步骤。通过本方法制备的硬质保护膜系在中波红外3‑5μm波段的平均透过率不低于93％，经微纳米压痕测试的硬度值不低于18GPa，弹性模量不低于160GPa。并根据GJB150.A要求的环境筛选试验进行了试验，硬质保护膜系一次性通过了环境筛选试验，验证了其良好的环境适应性能。