炭素系薄膜を用いた赤外光学窓材料用保護膜の検討

摘要

DLC膜④が最も高い臨界剥離荷重を示し，DLC膜⑧のと き臨界剥離荷重が低くなった.成膜圧力:2[Pa]のとき膜硬度が3[kV] ＞4[kV]＞6[kV]＞ 5[kV]となった.また，成膜圧力:5[Pa]のとき5[kV]＞6[kV] ＞4[kV]＞3[kV】となった.すべての条件で近赤外領域の赤外線透過率が成膜前に比 ベて,成膜後のDLC膜が高くなった.また,中赤外領域では DLC膜①を除いて赤外透過率が高くなった.一方で，遠赤外 領域ではDLC膜②とDLC膜④を除いて赤外線透過率が低 くなった.しかし，各条件のDLC膜で比較すると，赤外透過率 に大きな違いは見られなかった.以上の結果から，膜の硬度が変化しても赤外透過特性に大 きな影響がないことが分かった.また，保護膜として有用な 臨界剥離荷重の閾値は188[mN]であるのに対し,今回成膜し たDLC膜はその閾値に達していなかったことから，密着強 度の改善が必要である.