一种制备周期极化畴反转晶体的装置及方法

摘要

本发明公开了一种制备周期极化畴反转晶体的装置，包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的两侧分别设置有两电极板，两电极板连接位于真空腔外的控制电路，控制电路控制两电极板之间产生高频低压电场，铁电晶体的上方设置有若干电晕线，电晕线连接位于真空腔外的气体源和高压电源。同时也公开了相应的方法。本发明在电晕放电提供外加电场的基础上引入高频低压电场的扰动，以实现铁电晶体‑C面上电荷的均匀分布，从而实现极化电场的均匀分布，极化电场分布均匀程度高，能够实现高良品率的批量生产，并且由于降低了极化电场对电晕线的依赖程度，可以有效降低生产的成本。