带有折射镜的新型位移传感器及其测量方法

摘要

本发明提供了一种带有折射镜的新型位移传感器及其测量方法，该带有折射镜的新型位移传感器包括：反射镜，用于接收激光束被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；分光镜组，包括分光镜和反光镜，且分光镜和反光镜呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的第二反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至其中一个折射镜发生折射并入射至光电探测器，另一部分激光束经分光镜透射后入射至另一个折射镜发生折射并入射至光电探测器。本发明位移传感器，通过折射镜的设置，可以提高位移传感器的测量精度。