一种新的直线位移传感器的测量方法

摘要

介绍测量直线位移传感器的一种新的方法，这种新测量方法是在线纹工作基准装置上进行测量的。该测量装置是以He-Ne激光波长为基准，采用激光干涉原理，对直线位移传感器进行绝对测量，并对测量结果的测量不确定度进行分析。