公开/公告号CN109313157A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 巴拉什·塔库拉帕里;
申请/专利号CN201780037937.8
发明设计人 巴拉什·塔库拉帕里;
申请日2017-04-19
分类号G01N27/414(20060101);B01L3/00(20060101);B82Y15/00(20060101);C12M1/34(20060101);C12M3/00(20060101);G01N27/02(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人陶启长;杨昀
地址 美国亚利桑那州
入库时间 2024-02-19 06:52:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/414 申请日:20170419
实质审查的生效
2019-02-05
公开
公开
机译: 惯性微传感器,例如加速度传感器或陀螺仪是通过使与玻璃基板粘合的厚硅层变薄,形成传感器结构并蚀刻玻璃以在结构下方形成真空空间来生产的
机译: 用于例如磁阻传感器模块的磁阻传感器模块的制造方法防滑系统,包括在传感器结构和支撑之间形成连接,以将结构连接到电路装置
机译: 用于制造集成图像传感器的方法包括:在列的末端形成像素,以及使每个列的另一末端靠近或分离以形成多面体帽形状的表面的变形结构。