一种数字像面全息显微图的优化方法

摘要

数字像面全息显微技术中，记录过程引入的噪声限制了轴向测量的精度和可靠性。目前对于抑噪方法的研究，主要针对高频噪声。本发明研究了一种数字像面全息显微图的优化方法，对记录噪声高频和低频部分均有抑制作用，提高重构相位的信噪比。优化方法利用数字像面全息显微技术，结合经验模态分解方法，分解处理、优化全息图。应用优化方法对标准纳米台阶的表面形貌进行测量，对比并分析优化前后全息图的频谱以及测量的高度图，证明优化方法在保证对微结构表面形貌实现可靠测量的基础上，提高了数字像面全息显微技术的重构相位信噪比。