一种基于混合等离子体波导的温度传感器

摘要

本发明公开了一种基于混合等离子体波导的温度传感器，其特征是，包括自下而上顺序叠接的基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和金属层，所述金属层的上表面中心部位由上自下设有中空的圆柱状谐振腔，以谐振腔的中轴线为基准对称设有第一凹陷直波导和第二凹陷直波导，所述谐振腔的内径大小可调。这种表面等离子传感器不仅体积小、响应快、制备过程简单，同时还能提高灵敏度和Q值，实现生物、医学检测领域的纳米级传感。