公开/公告号CN109312102A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 陶氏环球技术有限责任公司;罗门哈斯电子材料有限责任公司;
申请/专利号CN201680086666.0
申请日2016-06-30
分类号C08K3/22(20060101);C08K9/04(20060101);
代理机构11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人徐舒
地址 美国密歇根州
入库时间 2024-02-19 06:49:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C08K3/22 申请日:20160630
实质审查的生效
2019-02-05
公开
公开
机译: 有机改性金属氧化物纳米颗粒,有机改性金属氧化物纳米颗粒的溶液,有机改性金属氧化物纳米颗粒的抗蚀剂组合物,抗蚀剂图案形成方法
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