首页> 中国专利> 带电粒子束装置、带电粒子束支配装置和操作带电粒子束装置的方法

带电粒子束装置、带电粒子束支配装置和操作带电粒子束装置的方法

摘要

描述一种带电粒子束装置(100),所述带电粒子束装置包括:束源(110),被配置成产生沿着光轴(A)传播的带电粒子束(105);具有第一数量的孔径(125)的孔径装置(120),被配置成从带电粒子束(105)形成第一数量的小束(135),其中第一数量为5或更多,其中孔径(125)围绕光轴(A)布置在环线(126)上,使得投射于环线(126)的切线(136)上的孔径(125)的垂线(128)均匀地间隔开。带电粒子束装置(100)进一步包括静电多极装置,所述静电多极装置被配置成单独地支配小束。另外,描述带电粒子束支配装置和操作带电粒子束装置的方法。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/26 申请日:20180713

    实质审查的生效

  • 2019-01-22

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号