公开/公告号CN109256313A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-22
原文格式PDF
申请/专利权人 ICT集成电路测试股份有限公司;
申请/专利号CN201810769384.1
申请日2018-07-13
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 德国巴伐利亚州
入库时间 2024-02-19 06:49:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/26 申请日:20180713
实质审查的生效
2019-01-22
公开
公开
机译: 用于带电粒子束装置的带电粒子源装置,用于样本检查的带电粒子束装置以及用于在带电粒子束中提供用于样本检查的主带电粒子束的方法
机译: 带电粒子束曝光装置的缩小率测定方法,带电粒子束曝光装置的阶段相位测定方法,带电粒子束曝光装置的控制方法以及带电粒子束曝光装置
机译: 带电粒子束曝光装置的缩小率测定方法,带电粒子束曝光装置的阶段相位测定方法,带电粒子束曝光装置的控制方法以及带电粒子束曝光装置